產(chǎn)品介紹
超純?nèi)ルx子水(DIW)加熱系統(tǒng)，與液體接觸的表面全部是超純PVDF/PFA材料，確保整個加熱過程的超純條通過PLC溫度*控制技術(shù)，提供穩(wěn)定、*的溫度輸出功率范圍從40KW到225KW。
產(chǎn)品主要組成部分
- 加熱元件: 去離子加熱系統(tǒng)通常包括一個或多個加熱元件，用于升溫。
- 溫度控制器: 系統(tǒng)配備了高精度的溫度控制器，以確保去離子水的溫度保持在所需的范圍內(nèi)。這對于半導(dǎo)體工藝和其他高精度應(yīng)用非常重要。
- 高純度水供應(yīng): 我司配有高純度水用于測試，保證設(shè)備出廠的管道潔凈度
- 管道和連接件: 用于輸送DIW的管道和連接件通常采用高純度材料，以減少污染的風(fēng)險。
- 安全設(shè)備:去離子加熱系統(tǒng)通常配備了安全設(shè)備，如液位傳感器、溫度傳感器和過熱保護(hù)，以防止意外泄漏或過熱情況。其中包含:液位傳感器，熱熔斷，接地故障斷路器，壓力安全閥，流量傳感器，PLC控制
